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摘要
提出了一种高温大量程的蓝宝石法布里-珀罗（F-P）干涉仪压力传感器。传感器由三层蓝宝石晶片直接键合而成，包括蓝宝石衬底、带通孔的蓝宝石晶片和感压蓝宝石晶片。飞秒激光用于在蓝宝石晶片的中心刻蚀通孔，并粗糙化感压蓝宝石晶片的外表面。利用蓝宝石晶片抛光面作为F-P腔的反射面，有助于降低解调出的光学腔长波动，提高压力分辨率。提出的传感器在室温、0～30 MPa的高压力范围内光学腔长随压力线性变化，压力灵敏度为0.1253μm/MPa，相对分辨率达到0.04%FS(full scale，全量程)，且能在700℃下稳定工作。
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单位包头师范学院; 工业和信息化部; 北京理工大学
