萘酚基酚醛树脂的合成及其在lift-off光刻胶中的应用

作者：孙小侠; 司树伟; 郑祥飞; 刘敬成^*; 穆启道

来源：影像科学与光化学, 2020, 38(04): 609-614.

DOI：10.7517/issn.1674-0475.200306

• α-萘酚
• 酚醛树脂
• 正性光刻胶
• NAPR-BOC
• lift-off

首先以α-萘酚、间甲酚、甲醛为单体,通过缩聚反应合成了萘酚基酚醛树脂NAPR,随后与二碳酸二叔丁酯(DBDC)反应制备了一系列t-BOC改性的萘酚基酚醛树脂NAPR-BOC。用红外(FT-IR)、核磁(1H NMR)、凝胶色谱(GPC)、热失重分析(TGA)对其结构及性能进行了表征。以NAPR-BOC-2为基体树脂配制成lift-off光刻胶,测试了光刻胶的分辨率、形貌和耐热性,得到的光刻胶分辨率最大为0.6μm,耐热可达130℃。

• 单位
  江南大学; 化学与材料工程学院