基于MEMS技术的V型微通道冷却器具有低热阻、低流量,高效率以及体积小等特点,能够对激光二极管阵列和其他高功率密度器件进行快速、高效地散热,成为一种新型的散热方案。介绍了V型微通道热沉的加工工艺,并利用研制的V型微通道热沉样品,模拟热源加载,进行了测试热沉散热性能的试验。通过试验数据得到微通道热沉的面积热阻仅为0.054 3 K.cm2/W。
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