基于ZnO/PZT结构的单端声表面波器件研究

作者：桂晨; 韦敏

来源：电子测试, 2022, 36(20): 96-98.

DOI：10.16520/j.cnki.1000-8519.2022.20.017

• 氧化锌/锆钛酸铅
• 声表面波
• COMSOL仿真

本文设计了一个基于ZnO/PZT结构的声表面波器件，使用COMSOL Multiphysics软件对其进行有限元仿真，仿真发现器件的反谐振频率为133.75MHz，谐振频率为133.66MHz。根据仿真结果制备了相应的SAW器件，实验所用ZnO薄膜与PZT薄膜采用射频磁控溅射方法沉积，测试其谐振频率为127.0MHz。

• 单位
  电子科技大学