基于可调谐半导体激光吸收光谱的氧气测量方法的研究

作者：张帅; 董凤忠; 张志荣; 王煜; 阚瑞峰; 张玉钧; 刘建国; 刘文清

来源：光谱学与光谱分析, 2009, (10): 2593-2596.

• 可调谐二极管激光吸收光谱(TDLAS)
• 工业过程控制
• O2浓度在线监测

O2是工业过程中广泛应用的重要气体,在工业生产环境下实现O2浓度的快速在线检测对提高燃烧效率和节能减排具有重要的意义。可调谐半导体激光吸收光谱谐波探测技术是一种具有高灵敏、高选择性、快速响应等特点的气体检测新技术,该技术利用了半导体激光器的可调谐和窄线宽特性,通过精心选择待测气体的某条吸收线可排除其他气体的干扰,实现待测气体浓度的高灵敏快速在线检测。文章以可调谐分布反馈(Distributed feedback,DFB)半导体激光器作为光源,通过波长调制方法对760nm附近氧气某一吸收线的二次谐波信号测量,从而实现了对氧气浓度的快速在线检测。系统指标达到:检测范围0.01%~20%;检测精度0.1%;长期稳定性1%。

• 单位
  中国科学院，安徽光学精密机械研究所; 中国科学院安徽光学精密机械研究所