石英谐振器力频特性的ANSYS分析及实验对比

作者：宁永怀; 田文杰; 鄂然; 崔媛媛

来源：电子元件与材料, 2007, (05): 28-30.

DOI：10.14106/j.cnki.1001-2028.2007.05.009

• 电子技术
• ANSYS分析
• 石英谐振器
• 力频灵敏度系数 electron technology
• ANSYS analysis
• quartz resonator
• force-frequency sensitivity coefficient

利用ANSYS有限元理论模型,对AT切石英晶体受沿x轴方向的对径力作用时,晶片内的应力分布进行了分析计算;通过在不同区域蒸镀电极的方法对石英晶体的力频特性进行了实验检测。结果表明,ANSYS理论计算结果与实验结果近乎一致,最大误差约为4%。

• 单位
  北京信息科技大学