立方Mg_xZn_(1-x)O晶体薄膜的制备和性能

作者：余萍; 吴惠桢; 陈奶波; 徐天宁

来源：材料研究学报, 2005, (03): 277-281.

• 无机非金属材料
• MgxZn1-xO晶体薄膜
• 低温物理沉积
• 立方相MgxZn1-xO
• 折射率 inorganic non-metallic materials
• MgxZn1-xO thin films
• low temperature physical deposition
• cubic MgXZn1-X O film
• refractive index

采用低温物理沉积技术在二氧化硅衬底(SiO2/Si(100))和石英玻璃上生长出了MgxZn1-xO(x>0.5)晶体薄膜,并用扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、X射线衍射(XRD)图谱和紫外-可见光透射光谱对其进行了表征.结果表明,在SiO2/Si(100)和石英玻璃衬底上沉积的MgxZn1-xO(x>0.5)晶体薄膜表面平整,均呈立方结构,且具有高度的(001)择优取向.立方MgxZn1-xO薄膜具有从紫外到近红外波段良好的透明性,折射率为1.7-1.8,随着波长的增大或Mg组分的增大而降低.

• 单位
  中国科学院上海微系统与信息技术研究所; 浙江大学; 信息功能材料国家重点实验室