串联双微环谐振腔系统的相干特性研究

作者：申恒瑞; 曹凤才; 岳凤英; 李玲

来源：仪表技术与传感器, 2019, (05): 108-112.

• 硅基光波导
• 微环谐振腔
• 耦合诱导透明
• 表面光滑化处理
• 集成光学

为研究硅基光波导中耦合诱导透明和光学Fano共振效应,设计并加工了一种串联双环谐振腔结构。通过高温退火表面光滑化处理,使得波导粗糙度降低为0.545 nm,实验中利用垂直光栅耦合法对结构进行测试,测试结果表明:当两环半径相等时,由于相消干涉,产生CRIT效应;当两环半径不相等时,产生谐振分离现象。同时与传统的单环谐振腔结构相比,串联双环谐振腔结构半高全宽(FWHM)增强了3倍,并且降落端口消光比增加了20 dB。

• 单位
  中北大学