激光刻蚀对金刚石薄膜的制备及场发射的影响

作者：高金海^*; 崔颖琦; 张洁; 李成刚; 张兵临

来源：功能材料与器件学报, 2020, 26(06): 407-411.

• 微波等离子体化学气相沉积
• 场致电子发射
• 金刚石薄膜
• 激光刻蚀

本文研究了激光刻蚀衬底对制备金刚石薄膜的影响,研究了激光刻蚀金刚石薄膜对它的影响,通过扫描电镜、拉曼光谱、X射线实验,检测了衬底及碳膜的形貌与结构,最后利用场发射二级结构研究碳膜的场发射性能。简单分析了激光刻蚀对金刚石薄膜的制备和场发射性能的影响。

• 单位
  郑州师范学院; 电子工程学院