金刚石涂层激光抛光机理及加工工艺研究进展

作者：王海航; 马玉平^*; 武晓龙; 韩源; 章星星

来源：材料保护, 2021, 54(06): 136-146.

DOI：10.16577/j.cnki.42-1215/tb.2021.06.026

• 抛光机理
• 金刚石涂层
• 粗糙度
• 激光抛光
• 刀具

CVD金刚石涂层表面粗糙度高、颗粒大,不能满足精密和超精密加工的要求,在一定程度上制约了其发展和应用,降低CVD金刚石涂层表面粗糙度是迫切需要解决的难题。阐述了激光抛光CVD金刚石涂层机理,对比了微观抛光和宏观抛光的差异,总结了国内外激光抛光金刚石涂层研究进展,探讨了目前激光抛光金刚石涂层的挑战和亟待解决的难点。

• 单位
  安徽建筑大学