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摘要
为了找到小孔节流气浮轴承的误差均化能力的主要影响因素，本文建立了单个气浮垫的误差运动模型，并利用所定义的均化系数找到了气浮垫误差运动、导轨条形状误差和气浮垫结构参数三者之间的定量关系。研究表明，对于长波长的导轨条形状误差（波数为0到1），当波数逐渐增加时，均化系数从1逐渐降低到接近0。对于短波长的导轨条形状误差（波数为1到10），当波数靠近或者等于正整数时，均化系数取接近于0的最小值。当波数靠近或者等于正整数加0.5时，均化系数取小于0.25的局部最大值。结构参数中，封气边宽度对误差均化能力有很大影响，气垫间隙和小孔节流器孔径对误差均化能力基本无影响。当移动速度小于10000mm/s时，移动速度对误差均化能力的影响微弱。本文的讨论结果对气浮轴承的设计和制造具有重要的指导性意义。
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