等离子体增强化学气相沉积制备的ZnO薄膜研究

作者：郭爱波; 刘玉萍; 陈枫; 李斌; 但敏; 刘明海; 胡希伟

来源：表面技术, 2006, (06): 5-7.

DOI：10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2006.06.002

• 等离子体增强
• 化学气相沉积
• SEM
• EDAX
• XPS
• 衬底

鉴于ZnO薄膜材料的多功能性,用等离子体增强化学气相沉积方法在金属Cu和普通玻璃上生长了ZnO薄膜。扫描电子显微镜获得其表面形貌;能谱分析获得其元素种类及相对含量,在能谱图上明显地观察到了Zn峰和O峰的存在,且Cu基上Zn和O原子比接近1∶1;X射线光电子能谱分析得出样品中的Zn和O全部以化合态存在而不存在Zn原子和O原子。但Cu基上的ZnO薄膜易吸收空气中的氧和水蒸汽,薄膜质量期望通过生长合适过渡层得到改善。

• 单位
  电子工程学院; 华中科技大学