摘要

本文提出了三种新型超材料红外发射结构和制备方法,可使用原子层沉积方法直接在灯丝上沉积超材料薄膜。设计了钨丝、钼丝、碳纤维三种灯丝材质,超材料薄膜则由多圈间隔沉积的W/ZrO2、 Si/TiO2以及SiO2/Si薄膜构成。这一新盈颖的红外发射结构不仅使得超材料制备工艺大大简化,而且灯丝发热体与层状超材料紧密接触有利于提高灯丝热量利用率、产品发光效率以及产品稳定性能。

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