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摘要
本文提出了一种压力自适应控制的集成电路分选设备的设计与实现。首先,针对分选设备机械运动过程中复杂情况和压力实时监测需求,完成了分选设备测压机构的结构设计,下压的末端增加压力传感器,可实现压力的在线实时监测。其次,优化膜片缓冲装置,减少机构下压过程中压力的过冲、波动,提高响应速度。再次,研究不同工况、不同芯片应用场合下的压力自适应控制策略。最后,经过测试,制作的IC分选设备性能参数能满足工程应用的要求。
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单位台州职业技术学院; 杭州长川科技股份有限公司
