六元磁光材料芯片的制备与检测

作者:蔡英文; 顾明; 冯兰; 张桂林; 王松有; 李晶; 陈良尧
来源:上海交通大学学报, 2004, (02): 291-294.
DOI:10.16183/j.cnki.jsjtu.2004.02.035

摘要

推广和发展了一种二分掩膜方法,采用这种方法,使得通过n次实验可以既不重复也不遗漏地得到所用n种元素的所有可能组合,即2n个全不相同的芯片单元,并论证了其惟一性.对于离子束溅射沉积的CoAg薄膜,采用组合离子注入技术制备了由Fe、Mn、Ga、Cu4种元素所组成的磁光芯片.在1T的恒定磁场条件下,系统地测试了芯片各单元在不同退火条件下的磁光克尔谱.结果表明,采用薄膜与组合离子注入相结合的方法,可以快速、有效、低成本地发现新型磁光存储颗粒膜材料候选体系.

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