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摘要
目的 研究通过调整Sn组分提高GeSn红外探测器的性能，为其进一步发展和实现在光纤通信中的应用提供科学依据和设计思路。方法 基于GeSn合金设计并优化了光探测器，以期获得高的响应度和宽的响应波段。经过Silvaco软件仿真，建立了Ge基波导型光探测器的初始模型，通过控制变量不断改变特征参数来优化器件，引入应变对材料进行能带改性。结果与结论通过改变GeSn合金中Sn的组分，GeSn红外光探测器的最大截止波长可达到2.25μm,同时理清了材料中的应变对探测器响应度、响应范围等性能的作用机制，获得了高响应度和响应范围的GeSn光电探测器件。
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