现代汉语中,“甚至”“甚而”“甚而至于”是一组近义词。词典中经常用“甚至”释义“甚而”“甚而至于”。本文发现:“甚而至于”的强化程度较深,与“甚至”“甚而”区别明显。文章从“甚而至于”的语法化和主观化角度入手,对其来源和演变进行探讨,为“甚而至于”“甚至”“甚而”的共时区别寻求历时的解释和证明。