气体传感器用Au掺杂WO3基复合涂层的组织及气敏性研究

作者：左明鑫^*; 李月英

来源：粉末冶金技术, 2020, 38(04): 283-288.

DOI：10.19591/j.cnki.cn11-1974/tf.2019040015

• 等离子体喷涂
• WO3涂层
• 掺杂
• 显微组织
• 气敏性

为了提高气体传感器的测试精度,选择等离子喷涂工艺来制备Au掺杂WO3基(WO3/Au)复合涂层,并对复合涂层的组织和气敏性展开分析。结果表明:在WO3/Au复合涂层的X射线衍射谱图上,只观察到WO3与Au对应的两种衍射峰,没有出现其他物相的衍射峰;相对于纯WO3涂层,WO3/Au复合涂层没有发生颗粒尺寸、结晶度与微观结构的显著改变;WO3/Au复合涂层的吸脱附曲线发生了分离的现象,出现了脱附滞后的情况。当温度上升,气体传感器用纯WO3涂层和WO3/Au复合涂层都出现了响应值先升高到峰值又逐渐降低的现象,其中最大值出现在300℃处;不同于纯WO3涂层,气体传感器用WO3/Au复合涂层可以实现对NO2的快速响应,并获得更短的恢复时间,说明WO3/Au复合涂层具备更优的气敏性。

• 单位
  郑州科技学院