红外测温成像系统光学薄膜滤光片设计与镀制工艺研究

作者：郭志帅; 费书国^*; 阴晓俊; 高鹏; 赵帅锋; 王银河; 宋光辉

来源：真空, 2020, 57(06): 18-22.

DOI：10.13385/j.cnki.vacuum.2020.06.04

• 红外测温
• 滤光片
• 膜系设计
• 镀膜工艺

研究了人体红外测温、成像系统光学薄膜滤光片的光谱特性参数、膜系设计及镀膜工艺。根据黑体辐射理论计算人体红外辐射光谱分布,提出滤光片光谱特性参数要求:截止波长5.5μm,透射区波段7μm～12μm,平均透射率大于85%,截止波段UV-5μm,平均截止背景大于OD3。采用单晶硅片为基底,锗、硫化锌为镀膜材料,设计滤光片膜系,研究提出真空镀制工艺。

• 单位
  沈阳仪表科学研究院有限公司; 沈阳工业大学