一种采用条形补偿膜应力补偿的晶体谐振器

作者:苗苗; 李智奇; 冯娜娜; 李皖; 周渭; 张艺
来源:2020-03-30, 中国, CN202010238766.9.

摘要

本发明涉及晶体谐振器,特别是一种采用条形补偿膜应力补偿的晶体谐振器,其特征是:至少包括:晶体,所述的晶体为圆片形;与圆片形晶体同心且小于圆片形晶体的直径有一中心电极,中心电极镀膜在晶体的上下表面上;沿晶体的直径方向在中心电极的两侧有延伸层;两侧的延伸层各延伸至一个扇形面,扇形面的中心线与延伸层中心线重合;在中心电极上有补偿膜,补偿膜为长方形,补偿膜的长度方向与延伸层中心线垂直;长方形补偿膜长度方向与晶体片x轴方向一致。它提供了一种结构简单、体积更小、功耗更低、稳定度更高、成本较低的采用条形补偿膜应力补偿晶体谐振器。