ZrO_2/W纳米多层膜的氦离子辐照损伤研究

作者：孔淑妍; 高原; 王宏伟; 王晨旭; 朱剑豪; 薛建明; 颜莎; 王宇钢

来源：中国科学:物理学 力学 天文学 , 2013, (10): 1314-1320.

• 纳米多层膜
• 离子辐照损伤
• 氦泡
• 层间界面
• 晶界 multilayer
• ion irradiation
• Helium bubble
• grain boundary
• interface

本文主要围绕ZrO2/W纳米多层膜的抗辐照损伤性能进行研究.实验中使用70 keV He+在8×1016–6×1017cm 2的剂量范围对磁控溅射生长的ZrO2/W多层膜样品进行辐照.辐照前后使用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)以及透射电子显微镜(TEM)对样品的表面形貌及微观结构随剂量增加的演化过程进行表征.研究表明,ZrO2/W纳米多层膜具有较强的抗辐照损伤及抑制氦泡的特性.实验结果也显示,即使对于相同的纳米多层膜组成成分,由于结晶品质、晶界结构和界面的不同,抗辐照性能有所差异.

• 单位
  香港城市大学; 北京大学