基于数字图像相关法解调被物体高度调制的投影栅线平移量的原理,提出了显微栅线投影相关法的概念。该方法是栅线投影法和数字图像相关方法相结合的产物,用于测量微结构的三维形貌和离面变形。系统阐述了该方法的测量原理和详细的标定过程,研究了该方法在微薄膜挠度测量中的应用。测量结果表明,显微栅线投影相关法简单易行,测试结果可靠,配合高速图像采集系统,可用于微结构的动态测试,从而为实现微结构动、静态测试展现了新的应用前景。
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