一种溶液法制备钨掺杂氧化锡透明导电薄膜的方法

作者:宁洪龙; 张观广; 姚日晖; 张旭; 袁炜健; 刘贤哲; 梁志豪; 梁宏富; 周尚雄; 彭俊彪
来源:2019-01-02, 中国, ZL201910001788.0.

摘要

本发明属于透明导电薄膜技术领域,公开了一种溶液法制备钨掺杂氧化锡透明导电薄膜的方法。将钨粉和过氧化氢溶液在冰水浴中充分反应,过滤除杂后用蒸馏水稀释,得到钨酸溶液;将SnCl2·2H2O溶解于无水乙醇溶剂中,搅拌均匀,得到氯化亚锡溶液;向氯化亚锡溶液中滴加钨酸溶液和H2O2溶液,超声振荡处理至溶液为无色澄清透明,静置老化,得到混合液;在清洗干净的玻璃衬底上旋涂所得混合液,退火处理,得到钨掺杂氧化锡透明导电薄膜。本发明采用钨酸掺杂并加入H2O2提高了溶液的稳定性与通透性,使最终固化的薄膜中,W以+6价的WO3形式存在,提升了薄膜的透射性。