浅谈MEMS热电堆红外传感器

作者：刘昇

来源：科技风, 2019, (19): 184.

DOI：10.19392/j.cnki.1671-7341.201919171

• MEMS
• 传感器
• 红外检测

MEMS技术是微电子技术的重要发展方向,用于各式先进传感器的研究和制作。本文针对MEMS热电堆红外传感器进行了详细介绍,内容涵盖其基本原理、发展历程、工作原理、制备工艺和执意要应用。