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摘要
本发明公开了一种运动承载导轨的六自由度误差检测系统,由激光器、误差检测镜组、四象限传感器组和可调角锥棱镜构成；误差检测镜组和四象限传感器组固定安装在被测导轨上构成检测模块,激光器和可调角锥棱镜固定安装在机架上,且分设在检测模块的两侧,激光器出射的基准测量光在经过误差检测镜组之后入射至角锥棱镜,再返射至误差检测镜组作为参考测量光；基准测量光和参考测量光经在检测模块中经分离、干涉和解析获得被测导轨的六自由度误差。本发明利用光斑检测法和干涉检测法实现了导轨六自由度误差的同时检测,具有光路简单、抗干扰性强的优点,提高了导轨六自由度误差检测的精度。
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