基于微型杠杆结构谐振式差分微加速度传感器的理论建模(英文)

作者：陈健; 陈德勇; 王军波

来源：纳米技术与精密工程, 2006, (02): 118-121.

DOI：10.13494/j.npe.2006.020

• 微机械电子系统
• 谐振式微加速度传感器
• 理论建模
• 有限元模拟
• 交叉轴串扰 micro-electronic-mechanical-system
• resonant micriaccelerometer
• theoretical model
• FEA simulation
• cross-sensitivity

为了提高灵敏度和消除交叉轴串扰,提出了一种包括有效的微型杠杆结构的谐振式差分微加速度传感器, 分析了该结构差分检测和消除交叉轴干扰的原理．推导了该设计的理论模型,包括结构建模和轴向力作用下谐振微梁的固有频率偏移的推导,得到了待测加速度与输出固有频率偏移的关系．使用有限元模拟来证实理论模型．模拟结果说明,该设计的灵敏度每重力加速度g高于4 kHz．探讨了具体结构参数的选取与输出频差的关系,说明通过调整微型杠杆的尺寸可以进一步提高本设计的灵敏度．

• 单位
  中国科学院电子学研究所; 传感技术国家重点实验室