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摘要
本发明公开了一种基于氮面极性硼铝氮材料的金刚石二维电子气异质结结构的制备方法,包括以下步骤：获取C面单晶蓝宝石衬底；在C面单晶蓝宝石衬底上外延生长具有施主掺杂的氮面极性纤维锌矿结构的硼铝氮,形成硼铝氮外延层；在硼铝氮生长过程中,通过对硼源与铝源的比值进行调控以控制所述硼铝氮外延层的硼与铝的组分；在硼铝氮外延层上生长金刚石外延层,以形成异质结。本发明基于蓝宝石衬底材料制作金刚石异质结器件,异质结所需金刚石层由外延生长所得,突破了高质量金刚石衬底的尺寸限制,同时降低了异质结制造成本,提供了获取大尺寸金刚石异质结的有效方法。
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单位西安电子科技大学; 西安电子科技大学芜湖研究院
