微流控通道加工技术的研究进展

作者:陈梦月; 郝秀清*; 李子一; 徐文豪; 李亮
来源:微纳电子技术, 2021, 58(03): 244-253.
DOI:10.13250/j.cnki.wndz.2021.03.010

摘要

在微流控芯片中,微通道是进行微分析的重要保证,其成型质量直接影响芯片的分析性能。从加工机理、技术特点以及适用范围等方面对激光直写加工、光刻加工、热压印技术、微细铣削加工和3D打印等微流控通道主要加工方法进行了阐述,并总结了这几种加工技术的优缺点,这为实际生产提供了一定参考。最后,对微流控通道加工技术的发展进行了展望,未来微流控芯片将会向三维化、精密化以及微小化方向发展,芯片材料也趋于多样化,这些发展将不断推动微流控通道加工技术的发展。

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