钢渗铬层上金刚石薄膜的表面、界面结构及附着性

作者：黄元盛; 邱万奇; 罗承萍; 刘宏伟; 陈灵

来源：理化检验.物理分册, 2007, (05): 217-220.

• 化学气相沉积
• 金刚石膜
• 渗铬钢
• 界面
• 附着力 Chemical vapor deposition(CVD)
• Diamond film
• Chromized steel
• Interface
• Adhesion

在钢渗铬层表面用化学气相沉积(CVD)法制备了金刚石薄膜。使用扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)和压痕法研究了金刚石膜的表面、界面结构及附着力。用拉曼光谱分析了金刚石膜的纯度及非金刚石碳相。甲烷含量超过0.6%(体积分数)后,金刚石膜为球形纳米晶,形核密度>107cm-2。用甲烷含量为0.6%(体积分数)沉积的金刚石膜表面的残余压应力为1.22 GPa,而膜背面的残余压应力更高,达2.61 GPa。压痕显示在19.6 N载荷下膜发生开裂。TEM观察发现,膜/基界面为微观非平面,有利于提高金刚石膜的附着力。

• 单位
  华南理工大学; 江门职业技术学院; 广西大学