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摘要
指出了膜料色散、膜层折射率非均匀性以及膜厚控制误差积累等是导致半波孔产生的几个因素,其中膜层厚度周期性误差积累和敏感层厚度误差是导致半波孔的主要因素,还指出了半波孔的大小与膜系结构有关。借助计算机做了相应的数值计算,并从理论上进行了深入分析。针对这些因素采取相应的措施,设计和制备了倍频波长分离膜,有效地消除了半波孔。并给出了理论和实验光谱曲线,二者有很好的一致性。
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单位中国科学院研究生院; 中国科学院上海光学精密机械研究所
