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摘要
本发明公开了一种四自由度微动柔顺系统,其动平台具有DxDyRxRy四个自由度,可应用在微机电系统、超精密加工与制造、航空航天等具体领域。其具体结构包括具有Rx和Ry两转动自由度的柔顺模块和能够实现Dx和Dy两平动自由度的Awtar柔顺平台；两转自由度柔顺模块由柔顺滑移铰、柔顺虎克铰及驱动元件等组成,搭载在Awtar机构的中间平台上；Awtar平台通过并联的柔顺滑移铰提供DxDy两个自由度的平动。本发明实现了平动与转动的完全解耦,可分别进行单独驱动；两转动自由度柔顺模块的周边四个支腿中用了一种柔性滑移铰,可以实现较大轴向变化,其中相邻的两个作为主动支腿,装有驱动元件来实现转动。
- 单位
