采用简便易行的蚀坑法辨别废旧镀膜铝靶的表面织构组分;选用适合浸蚀剂显示铝靶试样的宏观组织;使用电解抛光的方法制备金相试样,观察铝靶试样显微组织。由此推断铝靶在服役期间内部结构发生的变化。结果表明,铝靶在服役中,经历多次再结晶过程。铝靶表面织构组分和一般纯铝再结晶织构组分不太一致。