高质量2英寸双面YBCO/MgO薄膜的批量化制备

作者：熊杰; 陶伯万; 韩晓; 贺镜谭; 冯啸; 宋晓科; 张飞; 李言荣

来源：稀有金属材料与工程, 2008, S4: 485-488.

• YBCO超导薄膜
• MgO单晶基片
• 退火
• 可重复性 YBCO superconducting film
• MgO
• annealing
• reproducibility

开展了2英寸(5.08cm)MgO单晶基片上YBa2Cu3O7-δ(YBCO)薄膜的制备及工艺稳定性研究。通过对基片表面状态的研究,提出了高温退火处理基片的方法,改善了基片的表平整度,大幅度提高了薄膜的取向性以及结晶质量,制备得到的YBCO薄膜具有优越的超导电性,薄膜临界电流密度J(c77K,0T)≈2.5MA/cm2,微波表面电阻R(s10GHz,77K)≈0.16mΩ,能够满足超导滤波器的设计要求。另外,还就工艺的稳定性和可重复性进行了研究,表明电子科技大学已具有小批量化提供大面积双面YBCO样品的能力。

• 单位
  电子科技大学; 电子薄膜与集成器件国家重点实验室