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摘要
受制造工艺和本身系统误差的影响,基于微电子机械系统(Micro Electro Mechanical System,MEMS)的测斜仪初始精度较低。针对这一问题,提出一种综合性补偿算法,对MEMS的测斜仪进行校准和修正,保证其测量的有效性和可靠性。对基于阵列式的MEMS测斜仪进行系统性建模,综合考虑测斜仪零偏、标度因数、非正交性、安装误差、系统噪声等影响因素,对测斜仪测量结果实现高精度补偿。结果表明:统筹精度补偿算法具有较高的试验精度,能对以上误差进行有效校准,实现测斜仪的高精度误差补偿。
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单位中国铁道科学研究院集团有限公司
