为了验证电路的可靠性，对InP异质结双极晶体管的微波特性进行了基于蒙特卡洛方法的波动分析。器件微波特性的波动程度不同，波动范围越大说明对本征参数的提取精度要求越高，可以通过输出特性推断测量可允许的精度范围。微波特性由模型S参数、电流增益截止频率和最大振荡频率组成，根据π型拓扑结构小信号模型本征参数的不确定度曲线，可以导出蒙特卡洛数值分析所需的标准差。蒙特卡洛分析结果表明，在不同的频率不同的偏置条件下，对测量参数准确性的要求差异较大，验证了电路在不同情况下的可靠性。
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