α-Al2O3单晶活化Mo-Mn法金属化的改进

作者：冯佳伦; 周兰芬; 黄亦工

来源：真空电子技术, 2019, (03): 67-72.

DOI：10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2019.03.16

• α-Al2O3单晶
• 金属
• 化封接强度

采用活化Mo-Mn法对α-Al2O3单晶进行了金属化,Mo-Mn层表面容易出现玻璃相,影响Mo-Mn层电镀及焊接效果。通过对α-Al2O3单晶金属化后Mo-Mn层玻璃相的成分分析,找出Mo-Mn层与α-Al2O3单晶的粘接机理,从玻璃相中析出刚玉是关键。