MEMS水听器国内研究现状与未来技术发展

作者：丁然; 唐洁; 赵珍阳; 范茂军

来源：传感器与微系统, 2022, 41(08): 157-160.

DOI：10.13873/J.1000-9787(2022)08-0157-04

• 微机电系统水听器
• 结构设计
• 国内外现状

综述了微机电系统(MEMS)水听器近15年在国内的发展情况。在MEMS水听器的技术发展过程中，从压阻式、压电式、电容式、纤毛式等结构到基于新一代半导体氮化镓材料的MEMS水听器，MEMS水听器的发展不仅从单一化走向阵列化，而且未来的水听器走向更适合批量制造。针对国家海洋战略，未来批量制造的MEMS水听器，在封装和标定技术方面，提出了几个值得注意的技术问题。

• 单位
  北京航空航天大学; 工业和信息化部; 中国电子科技集团公司第三研究所