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摘要
利用热丝化学气相沉积技术在碳化硅基底上制备微米金刚石薄膜、纳米金刚石薄膜和金刚石–石墨复合薄膜，采用扫描电子显微镜、原子力显微镜和拉曼光谱仪对不同金刚石薄膜的表面形貌和微观结构进行表征，通过摩擦磨损实验测试金刚石薄膜的摩擦系数并计算其磨损率，对比研究不同种类金刚石薄膜的摩擦磨损性能。结果表明：金刚石–石墨复合薄膜具有较好的摩擦磨损性能，薄膜表面粗糙度为53.8 nm，摩擦系数为0.040，和纳米金刚石薄膜(0.037)相当；金刚石–石墨复合薄膜的磨损率最低，为2.07×10-7 mm3·N-1·m-1。在相同实验条件下，同碳化硅基底的磨损率(9.89×10-5 mm3·N-1·m-1)和摩擦系数(0.580)相比，所有金刚石薄膜的磨损率和摩擦系数均有明显提升，说明在SiC基体表面沉积金刚石薄膜能够显著提高碳化硅材料在摩擦学领域的使役性能。
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