高分子辅助沉积法(PAD)制备LaBaCo2O5+δ薄膜的研究

作者：洪敦华; 高敏; 潘泰松; 张胤; 林媛

来源：电子元件与材料, 2014, 33(12): 29-32.

DOI：10.14106/j.cnki.1001-2028.2014.12.008

• 钙钛矿
• 薄膜
• 高分子辅助沉积法
• X射线衍射
• 表面形貌
• 电输运性质

用高分子辅助沉积法在Si(001)基底上以SiO2为缓冲层成功地制备出LaBaCo2O5+δ(LBCO)薄膜。X射线衍射谱证明了LBCO/Si(001)薄膜是(111)择优取向的单相赝立方结构。从LBCO薄膜样品的SEM照片可以看出,LBCO薄膜的晶粒大小并不均匀,其大的晶粒尺寸为12μm,小的晶粒尺寸为0.10.2μm;同时,可以明显观察到一些小的空隙,这些空隙有利于氧气的吸附及扩散。在LBCO薄膜的电阻(R)-温度(t)曲线测试中,电阻随温度的升高先急剧下降后缓慢下降,表明LBCO薄膜具有典型的半导体材料性质。LBCO薄膜在纯氧和空气中电阻的最低值分别为36Ω和382Ω,前者为后者的1/10,说明LBCO薄膜对氧气具有敏感性。

• 单位
  电子科技大学; 电子薄膜与集成器件国家重点实验室