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摘要
本发明涉及一种高灵敏度MEMS谐振式温度传感器芯片,属于MEMS温度传感器技术领域。包括石英玻璃环形基座和石英晶体谐振层；石英晶体谐振层包括菱形力放大谐振器、第一石英臂、第二石英臂、第一锚点和第二锚点；菱形力放大谐振器包括菱形环和双端固支石英音叉；第一锚点、第一石英臂、第二石英臂和第二锚点位于菱形环的短对角线上；双端固支石英音叉位于菱形环的长对角线上。当被测环境温度变化时,石英晶体谐振层因环形基座制约而产生热膨胀变形,在一对石英臂内部产生较大的轴向应力,经菱形环放大作用于双端固支石英音叉；本发明显著提高了传感器的灵敏度和谐振频率的稳定性,还具有结构简单,抗干扰能力强等优点。
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