纳米氧化铝薄膜湿度传感器的研制

作者：卢云; 刘俊; 侯应应; 于大蔚; 陈大恺

来源：功能材料, 2011, (01): 80-82+87.

• 湿度传感器
• 氧化铝
• 多孔膜
• 金电极 humidity sensor
• alumina
• porous membrane
• gold electrode

研究了阳极氧化三氧化二铝多孔膜的制备工艺,采用两步阳极氧化法和独特的后处理工艺获得了孔洞分布均匀、孔径大小一致且耐水合的多孔氧化膜,分析了传感器的湿敏特性:传感器的湿滞<2%,响应时间<10s,恢复时间<40s,性能非常优良。

• 单位
  电子科技大学; 电子薄膜与集成器件国家重点实验室