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摘要
本发明公开了一种基于双涡旋光干涉的光学面型检测方法,包括以下步骤：启动光学干涉系统,激光束通过空间光调制器后变成涡旋光,涡旋光通过分光棱镜后入射到Mirau干涉显微物镜系统,被分光板分为两束光,分别由待测面和参考面反射回来的两束涡旋光再次相遇时发生干涉,产生花瓣状的干涉图样,计算机控制PZT使待测面移动,通过分析CCD相机前后两次采集的花瓣状干涉图样的旋转角度,得到移动前后变化的相位,进而得到两次测量位移的变化。本发明设计将对光学面型的测量转换为对双涡旋光干涉图样旋转角度的测量,增加了系统的稳定性和抗干扰性,且适合于较大光学面型的二维形貌测量,满足精度较高的微光学、微电子等领域的测试要求。
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