面向CMUT阵元的阻抗匹配设计与声场特性测试

作者：李一凡; 张赛; 何常德; 王子渊; 高鹏飞; 张**^*

来源：传感器与微系统, 2022, 41(04): 89-92.

DOI：10.13873/J.1000-9787(2022)04-0089-04

• 电容式微机械超声换能器
• 阻抗匹配
• Smith圆图
• 声场特性

为解决电容式微机械超声换能器(CMUT)声发射能力弱、输出声压低的问题，根据CMUT工作原理与阻抗匹配理论设计了匹配电路。在此基础上，测试阻抗匹配前后CMUT的轴向声场与辐射声场指向性。测试结果表明：在相同测试距离或偏转角度时，阻抗匹配后的CMUT输出声压明显提升，且不会影响CMUT的声场特性。通过实验验证与对比分析，该阻抗匹配电路有效改变CMUT的阻抗特性，提升声发射能力，为CMUT的实际应用提供解决方案。

• 单位
  中北大学