一种具有多电极结构的高压SOI LDMOS器件

作者:黄勇; 李阳; 周锌; 梁涛; 乔明; 张波
来源:微电子学, 2017, 47(02): 247-249+267.
DOI:10.13911/j.cnki.1004-3365.2017.02.024

摘要

针对传统高压功率器件的击穿电压与比导通电阻始终相互矛盾的问题,提出了一种具有多电极结构的高压SOI LDMOS器件。该结构在漂移区的上方引入多个电极,每个电极偏置在不同的电位,器件正常工作时的电子电流聚集于漂移区表面,提供了一个低阻的导电通道,从而降低了比导通电阻。在漂移区引入多个额外电场峰值,提高了器件的击穿电压。与传统结构相比,新结构能够将击穿电压从325V提高到403V,并且比导通电阻降低43%。

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