(Pb, La)(Zr, Sn, Ti)O3反铁电薄膜驱动的MEMS微悬臂梁研究

作者：张宏宽; 赵全亮^*; 张萌颖; 赵磊

来源：功能材料与器件学报, 2023, 29(02): 91-96.

DOI：10.20027/j.gncq.2023.0009

• 溶胶凝胶法
• 反铁电薄膜
• 微悬臂梁
• 高品质因子
• 微机电系统

采用溶胶-凝胶法在LaNiO3/Si基底上制备了(Pb0.97La0.02)(Zr0.9Sn0.05Ti0.05)O3(PLZST)反铁电薄膜。结合微机电系统(MEMS)微加工工艺，集成制造了PLZST反铁电薄膜驱动的硅基MEMS悬臂梁，研究了PLZST薄膜结构的电学性能和悬臂梁的频率响应特性。测得反铁电薄膜具有典型双电滞回线，最大极化强度约为90μC/cm2,一阶谐振峰约为15.44 kHz,振型良好。大气环境下的机械品质因子Q值高达787,满足用于谐振器的灵敏度和响应速度要求，这表明该MEMS悬臂梁在微型谐振器和传感器领域将具有广泛应用前景。

• 单位
  北方工业大学