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摘要
石英加速度计的关键结构尺寸直接影响着加速度计的灵敏度及量程等性能，因此在结构设计中至关重要。针对一种新型的石英振梁加速度计在关键结构尺寸的设计上所存在的盲目性及灵敏度普遍不高的问题，建立了石英振梁加速度计的结构力学模型，通过理论分析获取了影响加速度计灵敏度与量程的主要结构参数及其作用机理，有限元仿真结果验证了振梁及质量块的尺寸参数对加速度计性能的影响。在此基础上对整体结构参数进行优化，最终得到的石英振梁加速度计标度因数可达117Hz/g,测量范围为±50g。理论与仿真结果表明：通过结构优化所得到的尺寸参数合理，且加速度计的灵敏度明显提高，为石英振梁加速度计进一步的研究提供了有利的参考。
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