微型气流陀螺敏感机理的有限元分析

作者：王义; 朴林华

来源：微纳电子技术, 2007, Z1: 10-11+16.

DOI：10.13250/j.cnki.wndz.2007.z1.018

• 敏感机理
• 有限元法
• 微型气流陀螺 sensitive mechanism
• finite element method(FEM)
• micro airstream gyroscope

根据计算敏感元件内的流场分布解释微型气流陀螺的敏感机理。利用ANSYS-FLOTRANCFD软件,根据陀螺实际尺寸进行建模求解,计算出在不同输入角速度时二维腔体中气体的流场及分布。计算结果表明,陀螺静止时两热电阻丝处气流速度相等,电流相等,输出电压为零;有角速度输入时,电阻丝气流速度不同,输出一个与角速度成比例的电压。

• 单位
  北京信息科技大学