干涉仪成像畸变引起测量误差的校正方法

作者：刘满林; 杨旺; 许伟才

来源：光学精密工程, 2011, (10): 2349-2354.

• 干涉检测
• 成像畸变
• 测量精度
• 误差校正 interferometric measurement
• image distortion
• measurement accuracy
• measuring error calibration

根据光学系统的波像差理论和干涉检测原理,分析了干涉仪系统的成像畸变对测量结果的影响,提出了对干涉仪系统的成像畸变进行标定和校正的方法。重点讨论了被测面的摆放存在倾斜和离焦两种情况下产生的测量误差,并提出了误差校正方法。实验中对同一个被测面进行多次测量,结果显示,干涉图样为3个条纹时的面形测量结果为30.96nm PV,6.32nm RMS,10个条纹时的面形测量结果为41.25nm PV,8.22nm RMS。校正后两次测量的PV值差降低到1.42nm,RMS值差为0.4nm。实验结果表明:提出的畸变校正方法可以有效地降低测量误差,提高测量结果的复现性,为高精度面形测量提供参考。

• 单位
  中国科学院研究生院; 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 应用光学国家重点实验室