JSM-6510扫描电子显微镜组成系统及维护要求

作者：谭文英

来源：仪器仪表与分析监测, 2020, (03): 17-20.

• 扫描电镜
• 组成系统
• 维护

扫描电子显微镜广泛应用于材料分析,在该行业中担当重要的角色。本文介绍日本电子JSM-6510扫描电子显微镜的组成系统,论述了各系统的维护要求。

• 单位
  佛山中科邦达无机功能材料有限公司