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摘要
为获得高增益的电子轰击型有源传感器（EBAPS）,本文对EBAPS成像器件中电子倍增层的电荷收集效率的影响因素进行了研究。依据载流子输运理论并采用蒙特卡洛方法,理论研究了钝化层种类、厚度、入射电子能量、P型基底厚度和掺杂浓度对二次电子分布及收集的影响。结果表明:当采用钝化层密度小的二氧化硅为钝化层时更有利于提高入射光电子的入射深度进而提高电荷收集效率；降低钝化层厚度和提高入射电子能量有利于减少死层对倍增电子的复合进而提高电荷收集效率；降低P型基底厚度和掺杂浓度，有利于降低倍增电子扩散过程中载流子的复合进而提高电荷收集效率。
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单位物理学院; 长春理工大学
